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我们只做探针台系统！
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F1 探针台

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●   6寸、8寸和12寸，手动、半自动和全自动都是一个机型F1

●   选择 F1+futureC+仪表，探针台就配置好了

●   请致电 Eoulu 服务电话 4008808776 获取专业工程师支持！



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图文展示3264(1)(1)(1)(1)(1)
产品特点
产品架构
产品参数
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世界上第一台可进化、会学习的探针平台系统

Eoulu 拥有 100% 知识产权


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Eoulu 专利设计的全新数字化 3.0 系统架构

让机台变得更简单、更轻巧

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世界上体积最小的 12 寸探针台，面宽仅 1 米

节省超净间费用，移动方便

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拥有 Eoulu 著作权和专利的动态地图和静态地图系统

让机台更快更准确




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Eoulu 专利“趋 0 误差 (C0)“和“虚拟尺 (VR) ”技术

专门测量不平整晶圆




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F1 架构彻底解决目前市面上机台扎针的不确定性

是所有同行必然仿效的典范




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     F1探针台系统架构

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F1 机械移动指标


序号

项目

载物台移动能力

X 轴

Y 轴

Z 轴

Theta 轴

1

行程

301 mm

301 mm

20 mm

± 5◦

2

定位最高精度*

< 0.05 μm

< 0.05 μm

< 1μm

< 0.005°

3

速度**

≥ 50 mm/s

≥ 50 mm/s

≥ 20 mm/s

/

4

晶圆不平整度适配能力*

100 μm

5

mapping 移动平均时间***

最小值

典型值

最大值


< 500 ms

< 1 s

< 3 s****


6

XY 位置锁定*****

最小值

典型值

最大值


0.02 μm

0.038 μm

1.5 μm


7

Z 位置锁定*****

******

最小值

典型值

最大值


0.65 μm

3.5 μm

15 μm



* 开启 C0 和 VR 的情况下

** F1 载物台的移动速度，会因客户选择的 Chuck 大小、Chuck 结构（Coax 或 Triax）以及 Chuck 是否支持高低温而存在差异

*** 根据器件大小，不同移动精准度要求下会有一定差异

*** 高速度和高稳定性无法同时满足，Eoulu 可根据客户的芯片和测量应用，提供优化速度的服务。详情请联系销售，获取硬件及软件升级方案

**** 在 8 寸、常温、Triax Chuck 的情况下，F1 选用最高精度和最稳速度模式，1000 μm * 1000 μm 芯片移动时间

***** 根据配置和客户对精度速度的要求会有一定差异。XY 位置锁定的最小值需通过选配 CCD 来实现，标准款 CCD 无法达到

****** 针痕长度的标准差 σ ≤ 5 μm，可参考 Eoulu 的 futureD 产品数据，实测 8 寸晶圆超过 2000 个 DUT，在高精度跑片模式下，DUT 到 DUT，扎针针痕长度差保证在 3σ 内

****** 针痕起始位置标准差 σ ≤ 8 μm，可参考 Eoulu 的 futureD 产品数据，实测 8 寸晶圆 2000 个 DUT，在高精度、低速度跑片模式下，DUT 到 DUT，起始位置差保证在 3σ 内

****** 以上数据指标不低于同行水平，可参考同行 2022 年 8 月 22 日公开发布文章




F1 屏蔽能力


序号

屏蔽和噪声能力*

1

光屏蔽

≥ 150 dB

2

EMI 屏蔽

≥ 20 dB 0.5-20 GHz (typical)

3

频谱噪音水平

≤ -150 dBVrms/rtHz (≤ 1 MHz)

4

系统 AC 噪声

≤ 15 mVp-p (≤ 1 GHz)


* 除系统能力外，还要考虑环境条件，此项目不在客户端验证，可以安排到 Eoulu 苏州实验室验证

* F1 全自动探针台目前不带 Microchamber，该项参数不适用




F1 显微镜


序号

项目

显微镜移动

X 轴

Y 轴

Z 轴

1

行程

50 mm

50 mm

90 mm

2

最大可达定位精度

< 4 μm

< 4 μm

< 4 μm

3

速度

60 mm/s

60 mm/s

120 mm/s

4

放大倍率典型范围*

500 - 2000 倍或更高

图片 1(2).png

5

典型光学镜头分辨率**

1.5 μm 或更小


*根据 CCD 配置会有不同倍率和颜色等差别

*根据物镜配置不同（5X、10X、20X、50X、100X），放大倍率会有差别

**根据镜头配置会有不同的分辨率





F1 载物台


序号

项目

大小

8 英寸

12 英寸

1

温度

常温

-60～ 300°C

常温

-60～300°C

2

温度精准度

±1°C

±1°C

3

温度分辨率

0.1°C

0.1°C

4

制冷模式

液冷

5

典型应用制冷和加热时间

常温~ 200°C

常温~ -40°C

35 min

35 min

6

最大加热功率

≤ 2 kW

7

最大制冷功率

≤ 1.5 kW

8

最大冷媒输运速度

≤ 40 L/min

9

最大输运压力

≤ 0.9 bar

10

供电电源要求

220 VAC 50Hz 1-phase max 10A (Controller)

380 VAC 50Hz 3-phase max 10A (Chiller)

11

最大耐压（高功率特殊选项）*

10000 V

12

最大耐流（高功率特殊选项）*

500 A

13

Eoulu 高性能温控 Chuck

图片 17.png

图片 18.png


* 高压高流不能同时达到




F1 控制软件 future interface ( futureI )


序号

项目

futureI 功能

1

单页面操作

是

2

自动对焦

包含

3

两点对齐

包含

4

自动对齐

选配

5

双舵操作*

显微镜和载物台移动

6

futureI 实物界面*

图片 1(3).png

7

futureI 与 Eoulu 测试软件 futureC 无缝连接

让测试更加简单*

图片 20.png

图片 20.png

8

futureI 与 Eoulu 数据软件 futureD 无缝连接

让数据处理更加简单*

图片 21.png

图片 22.png


* Eoulu 著作权





F1 尺寸和重量


序号项目不带机械手带机械手
1典型尺寸(W x D x H）

~1500 x 1115 x 1530 mm*

~2224 x 1506 x 1950 mm**

2
最大外围尺寸(W x D x H）~1750 x 1465 x 1600 mm~2534 x 1506 x 2000 mm
3主要尺寸标注
4外观图图片 14.png
5重量主机高低温温控高温温控机械手
~500 kg~ 245 kg~90 kg~345 kg


* 该尺寸包含显示器支架、鼠键支架，支架可调，该尺寸仅为典型数值

** 该尺寸包含显示器支架、鼠键支架、三色灯，支架可调，该尺寸仅为典型数值

** 产品参数如有变更，恕不另行通知。所有产品图片都以实物为准，苏州伊欧陆系统集成有限公司拥有内容解释权



Eoulu_F1探针平台系统_V2.6.2.pdf
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