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世界上第一台可进化、会学习的探针平台系统 Eoulu 拥有 100% 知识产权 ![]() Eoulu 专利设计的全新数字化 3.0 系统架构 让机台变得更简单、更轻巧 ![]() 世界上体积最小的 12 寸探针台,面宽仅 1 米 节省超净间费用,移动方便 ![]() 拥有 Eoulu 著作权和专利的动态地图和静态地图系统 让机台更快更准确 ![]() Eoulu 专利“趋 0 误差 (C0)“和“虚拟尺 (VR) ”技术 专门测量不平整晶圆 ![]() F1 架构彻底解决目前市面上机台扎针的不确定性 是所有同行必然仿效的典范 ![]() F1探针台系统架构 ![]() F1 机械移动指标
* 开启 C0 和 VR 的情况下 ** F1 载物台的移动速度,会因客户选择的 Chuck 大小、Chuck 结构(Coax 或 Triax)以及 Chuck 是否支持高低温而存在差异 *** 根据器件大小,不同移动精准度要求下会有一定差异 *** 高速度和高稳定性无法同时满足,Eoulu 可根据客户的芯片和测量应用,提供优化速度的服务。详情请联系销售,获取硬件及软件升级方案 **** 在 8 寸、常温、Triax Chuck 的情况下,F1 选用最高精度和最稳速度模式,1000 μm * 1000 μm 芯片移动时间 ***** 根据配置和客户对精度速度的要求会有一定差异。XY 位置锁定的最小值需通过选配 CCD 来实现,标准款 CCD 无法达到 ****** 针痕长度的标准差 σ ≤ 5 μm,可参考 Eoulu 的 futureD 产品数据,实测 8 寸晶圆超过 2000 个 DUT,在高精度跑片模式下,DUT 到 DUT,扎针针痕长度差保证在 3σ 内 ****** 针痕起始位置标准差 σ ≤ 8 μm,可参考 Eoulu 的 futureD 产品数据,实测 8 寸晶圆 2000 个 DUT,在高精度、低速度跑片模式下,DUT 到 DUT,起始位置差保证在 3σ 内 ****** 以上数据指标不低于同行水平,可参考同行 2022 年 8 月 22 日公开发布文章 F1 屏蔽能力
* 除系统能力外,还要考虑环境条件,此项目不在客户端验证,可以安排到 Eoulu 苏州实验室验证 * F1 全自动探针台目前不带 Microchamber,该项参数不适用 F1 显微镜
*根据 CCD 配置会有不同倍率和颜色等差别 *根据物镜配置不同(5X、10X、20X、50X、100X),放大倍率会有差别 **根据镜头配置会有不同的分辨率 F1 载物台
* 高压高流不能同时达到 F1 控制软件 future interface ( futureI )
* Eoulu 著作权 F1 尺寸和重量
* 该尺寸包含显示器支架、鼠键支架,支架可调,该尺寸仅为典型数值 ** 该尺寸包含显示器支架、鼠键支架、三色灯,支架可调,该尺寸仅为典型数值 ** 产品参数如有变更,恕不另行通知。所有产品图片都以实物为准,苏州伊欧陆系统集成有限公司拥有内容解释权
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