全国统一销售服务电话:4008808776
我们只做探针台系统!
ABUIABAEGAAg5MSwjgYoiIbfmwMw6Ac4kAY








F1 探针台


6寸、8寸和12寸,手动、半自动和全自动都是一个机型F1

选择 F1+futureC+仪表,探针台就配置好了

请致电 Eoulu 服务电话 4008808776 获取专业工程师支持!



‍‍‍






图文展示3264(1)(1)(1)(1)(1)
产品特点
产品架构
产品参数
附件下载



世界上第一台可进化、会学习的探针平台系统

Eoulu拥有100%知识产权



ABUIABAEGAAg-92wjgYoxcP98wUw4gg4gAo



Eoulu专利设计的全新数字化3.0系统架构

让机台变得更简单、更轻巧



ABUIABAEGAAg-92wjgYoz_e4xQYwnAs4zAk



世界上体积最小的12寸探针台,面宽仅1

节省超净间费用,移动方便




ABUIABAEGAAg-92wjgYokcHd0wEwhg04-AY



拥有Eoulu著作权和专利的动态地图和静态地图系统

让机台更快更准确




ABUIABAEGAAg-92wjgYovpvdjgIwlgY4yAg



Eoulu专利“趋0误差 (C0)“和“虚拟尺 (VR) ”技术

专门测量不平整晶圆




ABUIABAEGAAgvviUjgYooPquvwcw6Ac42AU



F1架构彻底解决目前市面上机台扎针的不确定性

是所有同行必然仿效的典范




ABUIABAEGAAg-92wjgYomP6z9QIw2BI4zgU

     F1探针台系统架构


ABUIABAEGAAgy9bjlgYotYip7QEwkgk4ngU

F1 机械移动指标

序号

项目

载物台移动能力

X

Y

Z

Theta

1

行程

301 mm

301 mm

20 mm

> ±10°

2

定位最高精度*

< 0.05 μm

< 0.05 μm

< 1μm

< 0.005°

3

速度

50 mm/s

50 mm/s

20 mm/s

/

4

晶圆不平整度适配能力*

100 μm

5

mapping移动平均时间**

最小值

典型值

最大值


< 500 ms

< 1 s

< 3 s***


6

XY位置锁定****

最小值

典型值

最大值


0.02 μm

0.038 μm

1.5 μm


7

Z位置锁定****

最小值

典型值

最大值


0.65 μm

3.5 μm

15 μm



* 开启C0VR的情况下

** 根据器件大小,不同移动精准度要求下会有一定差异

** 高速度和高稳定性无法同时满足,Eoulu 可根据客户的芯片和测量应用,提供优化速度的服务。详情请联系销售,获取硬件及软件升级方案

*** 选用最高精度和最稳速度模式1000 μm * 1000 μm芯片移动时间

**** 根据配置和客户对精度速度的要求会有一定差异




F1 屏蔽能力

序号

屏蔽和噪声能力*

1

光屏蔽

≥ 150 dB

2

EMI 屏蔽

≥ 20 dB 0.5-20 GHz (typical)

3

频谱噪音水平

≤ -150 dBVrms/rtHz (≤ 1 MHz)

4

系统AC噪声

≤ 15 mVp-p (≤ 1 GHz)


* 除系统能力外,还要考虑环境条件,此项目不在客户端验证,可以安排到Eoulu苏州实验室验证。




F1 显微镜

序号

项目

显微镜移动

X

Y

Z

1

行程

50 mm

50 mm

90 mm

2

最大可达定位精度

< 4 μm

< 4 μm

< 4 μm

3

速度

60 mm/s

60 mm/s

120 mm/s

4

放大倍率典型范围*

500 - 2000倍或更高

图片 1(2).png

5

典型光学镜头分辨率**

1.5 μm 或更小


*根据CCD配置会有不同倍率和颜色等差别

**根据镜头配置会有不同的分辨率





F1 载物台


序号

项目

大小

8英寸

12英寸

1

温度

常温

-60~ 300°C

常温

-60~300°C

2

温度精准度

±1°C

±1°C

3

温度分辨率

0.1°C

0.1°C

4

制冷模式

液冷

5

典型应用制冷和加热时间

常温~ 200°C

常温~ -40°C

35 min

35 min

6

最大加热功率

≤ 2 kW

7

最大制冷功率

≤ 1.5 kW

8

最大冷媒输运速度

≤ 40 L/min

9

最大输运压力

≤ 0.9 bar

10

供电电源要求

220 VAC 50Hz 1-phase max 10A (Controller)

380 VAC 50Hz 3-phase max 10A (Chiller)

11

最大耐压(高功率特殊选项)*

10000 V

12

最大耐流(高功率特殊选项)*

500 A

13

Eoulu高性能温控Chuck

图片 17.png

图片 18.png


* 高压高流不能同时达到。




F1 控制软件future interface ( futureI )


序号

项目

futureI功能

1

单页面操作

2

自动对焦

包含

3

两点对齐

包含

4

自动对齐

选配

5

双舵操作*

显微镜和载物台移动

6

futureI实物界面*

图片 1(3).png

7

futureIEoulu测试软件futureC无缝连接

让测试更加简单*

图片 20.png

图片 20.png

8

futureIEoulu数据软件futureD无缝连接

让数据处理更加简单*

图片 21.png

图片 22.png


* Eoulu著作权。





F1 尺寸和重量

序号

项目

不带机械手

带机械手

1

尺寸

900 ×1115 × 1608 mm

1627 × 1687 × 1608 mm

2

主要尺寸标注

图片 1(4).png

3

外观图

图片 14.png

4

重量

主机

高低温温控

高温温控

机械手

~ 380 kg

~ 245 kg

~ 65 kg

~ 200 kg


* 产品参数如有变更,恕不另行通知。所有产品图片都以实物为准,苏州伊欧陆系统集成有限公司拥有内容解释权




Eoulu_F1探针平台系统 -V2.1.2.pdf
11.94MB下载