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Eoulu 探针台
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Eoulu F1探针平台系统


6寸、8寸和12寸,手动、半自动和全自动都是一个机型F1

选择 F1+futureC+仪表,探针台就配置好了

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世界上第一台可进化、会学习的探针平台系统

Eoulu拥有100%知识产权


Eoulu专利设计的全新数字化3.0系统架构

让机台变得更简单、更轻巧

世界上体积最小的12寸探针台,面宽仅1

节省超净间费用,移动方便

拥有Eoulu著作权和专利的动态地图和静态地图系统

让机台更快更准确

Eoulu专利“趋0误差 (C0)“和“虚拟尺 (VR) ”技术

专门测量不平整晶圆

F1架构彻底解决目前市面上机台扎针的不确定性

是所有同行必然仿效的典范