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最好用的探针台,产自中国!
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F1 探针台


●   6寸、8寸和12寸,手动、半自动和全自动都是一个机型F1

●   选择 F1+futureC+仪表,探针台就配置好了

●   请致电 Eoulu 服务电话 4008808776 获取专业工程师支持!



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图文展示3264(1)(1)(1)(1)(1)
特点
结构
参数
说明书



世界上第一台可进化、会学习的探针平台系统

Eoulu 拥有 100% 知识产权


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Eoulu 专利设计的全新数字化 3.0 系统架构

让机台变得更简单、更轻巧

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世界上体积最小的 12 寸探针台,面宽仅 1

节省超净间费用,移动方便

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拥有 Eoulu 著作权和专利的动态地图和静态地图系统

让机台更快更准确

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Eoulu 专利“趋 0 误差 (C0)“和“虚拟尺 (VR) ”技术

专门测量不平整晶圆




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F1 架构彻底解决目前市面上机台扎针的不确定性

是所有同行必然仿效的典范




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     F1探针台系统架构

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F1 机械移动指标

序号

项目

载物台移动能力

X

Y

Z

Theta

1

行程

301 mm

301 mm

20 mm

± 5◦

2

定位最高精度 *

0.05 μm

0.05 μm

1μm

0.005°

3

速度 **

50 mm/s

50 mm/s

20 mm/s

/

4

最大速度

150 mm/s

150 mm/s

35 mm/s

/

5

晶圆不平整度适配能力 *

100 μm

6

mapping 移动平均时间 ***

最小值

典型值

最大值


< 500 ms

< 1 s

< 3 s ****


7

XY 位置锁定 *****

最小值

典型值

最大值


0.02 μm

0.038 μm

1.5 μm


8

Z 位置锁定 星号上下.png

最小值

典型值

最大值


0.65 μm

3.5 μm

15 μm



* 开启 C0 VR 的情况下

** F1 载物台的移动速度,会因客户选择的 Chuck 大小、Chuck 结构(CoaxTriax)以及 Chuck 是否支持高低温而存在差异

*** 根据器件大小,不同移动精准度要求下会有一定差异

*** 高速度和高稳定性无法同时满足,Eoulu 可根据客户的芯片和测量应用,提供优化速度的服务。详情请联系销售,获取硬件及软件升级方案

****8 寸、常温、Triax Chuck 的情况下,F1 选用最高精度和最稳速度模式,1000 μm * 1000 μm 芯片移动时间

***** 根据配置和客户对精度速度的要求会有一定差异。XY 位置锁定的最小值需通过选配 CCD 来实现,标准款 CCD 无法达到

****** 针痕长度的标准差 σ ≤ 5 μm,可参考 Eoulu futureD 产品数据,实测 8 寸晶圆超过 2000DUT,在高精度跑片模式下,DUTDUT,扎针针痕长度差保证在

****** 针痕起始位置标准差 σ ≤ 8 μm,可参考 EoulufutureD 产品数据,实测 8 寸晶圆 2000DUT,在高精度、低速度跑片模式下,DUTDUT,起始位置差保证在

****** 以上数据指标不低于同行水平,可参考同行 2022822 日公开发布文章




F1 屏蔽能力


序号

屏蔽和噪声能力 *

1

光屏蔽

≥ 150 dB **

2

EMI 屏蔽

≥ 20 dB 0.5-20 GHz (typical)

3

频谱噪音水平

≤ -150 dBVrms/rtHz (≤ 1 MHz)

4

系统 AC 噪声

≤ 15 mVp-p (≤ 1 GHz)


* 除系统能力外,还要考虑环境条件,此项目不在客户端验证,可以安排到 Eoulu 苏州实验室验证

* F1 全自动探针台目前不带 Microchamber,该项参数不适用

** 单光子测试需额外增加屏蔽装置,该项参数不适用

** 该实验测试光路是指从显微镜正上方 90° 垂直入射光

** 光屏蔽波长为 200 ~ 2000 nm




F1 防震能力


序号

防震能力 *

1

垂直固有频率

2.5 ~ 2.7 Hz

2

水平固有频率

2.0 ~ 4.5 Hz
3

垂直阻尼(可调节)

6% ~ 20%
4

水平阻尼

5% ~ 6%
5

供气压力

0.3 ~ 0.5 Mpa
6

最大承重

400 kg
7

隔振效率

5% ~ 6%
8

受外界激励时反应时间

< 1 s
9

防震级别

VC-C


* F1 防震台相关参数,请参考厂家溯源指标,此项目不在客户端验证





F1 显微镜


序号

项目

显微镜移动

X

Y

Z

1

行程

50 mm

50 mm

90 mm

2

最大可达定位精度

± 2 μm

± 2 μm

± 2 μm

3

速度

60 mm/s

60 mm/s

120 mm/s

4

放大倍率典型范围 *

500 - 2000 倍或更高

图片 1(2).png

5

典型光学镜头分辨率 **

1.5 μm 或更小


* 根据 CCD 配置会有不同倍率和颜色等差别

* 根据物镜配置不同(5X、10X、20X、50X、100X),放大倍率会有差别

** 根据镜头配置会有不同的分辨率





F1 载物台


序号

项目

大小

8 英寸

12 英寸

1

温度

室温

高低温

室温

高低温

2

最大可工作温度范围 *

--60 ~ 300°C--60 ~ 300°C
3

高低温常见可选温度范围 **

-

-60 ~ 150°C

-60 ~ 200°C

-60 ~ 300°C

-40 ~ 150°C

-40 ~ 200°C

-40 ~ 300°C

0 ~ 100°C

0 ~ 200°C

室温~ 150°C

室温~ 200°C

室温~ 300°C

-

-60 ~ 150°C

-60 ~ 200°C

-60 ~ 300°C

-40 ~ 150°C

-40 ~ 200°C

-40 ~ 300°C

0 ~ 100°C

0 ~ 200°C

室温~ 150°C

室温~ 200°C

室温~ 300°C

4

温度精准度

± 1°C

± 1°C

5

温度分辨力

0.1°C

0.1°C

6

常温常压 Triax Chuck 漏电

≤ 132 fA

≤ 231 fA

7

常温常压 Triax Chuck 噪声

≤ 30 fA≤ 42 fA

8

制冷模式

液冷和气冷可选

9

典型应用制冷和加热时间

- 60°C → 25°C:27 min

25°C → 300°C:21 min

300°C → 25°C:18 min

25°C → -60°C:36 min

- 60°C → 25°C:27 min

25°C → 300°C:21 min

300°C → 25°C:18 min

25°C → -60°C:36 min

10

最大加热功率

5.5 kW

11

最大制冷功率

12.5 kW

12

最大冷媒输运速度

5 m/s

13

最大输运压力

4 bar

14

最大耐压(高功率特殊选项)***

10000 V

15

最大耐流(高功率特殊选项)***

800 A

16

使用申明

  • 需严格按照本手册中“环境温度”和“环境湿度”要求进行存放。

  • 设备出厂前,需在载物台上放置晶圆片做性能验证、可靠性测试,因此, 载物台表面或探针台活动

    板上产生划痕无法完全避免,划痕不影响设备使用,不代表产品质量有问题。

  • F1 高低温探针台出厂前,需对温控系统和高低温载物台做升降温测试,因此载物台表面上产生烘

    烤痕迹(例如载物台颜色变化、水汽痕迹)无法完全避免,烘烤痕迹不影响设备使用,不代表质

    量有问题。

17清洁
  • 每月清洁一次探针平台,用柔软的无尘布清除载物台上的脏污,如果在使用过程产生了较多的灰尘、碎屑,需要增加清洁的频率。

  • 不要在载物台上使用工业级异丙醇 (IPA) 或任何其他化学品,使用不当溶剂或研磨剂可能会损坏探针台。

18
维护
  • 除待测器件外,载物台不宜放置任何物品。

  • 如有螺丝松动,请及时按照力矩要求小心并均匀拧紧,必要时联系 Eoulu 售后团队处理。

  • 对于全自动系统,在维护或者未使用期间,要确保电源已正确关闭,并且不会在完成维护之前或使用前意外重新启动。

19保养
  • 对于高使用率的探针台,建议每年进行一次载物台的操作检查和保养。

  • 如下服务只能由 Eoulu 团队执行:

    1. 载物台 X/Y/Z/Theta Stage 的调平和校准

    2. 载物台的拆卸和安装

20

Eoulu 高性能温控 Chuck

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* 用户可根据测试需求,在此温度范围内进行选择

** 如有其它温度范围需求,请联系 Eoulu 销售

** 温度范围越大,购买成本越高;室温以下的测试需制冷,温度越低,购买成本越高。请按实际测试要求选择合适温度范围

*** 高压高流不能同时达到

*** 更高电压或更高电流,请联系 Eoulu 定制






F1 控制软件 future interface ( futureI )


序号

项目

futureI 功能

1

单页面操作

2

自动对焦

包含

3

两点对齐

包含

4

自动对齐

包含

5AutoZ

包含

6高速 AutoZ

选配

7

双舵操作 *

显微镜和载物台移动

8

futureI 实物界面 *

图片 1(3).png

9

futureI Eoulu 测试软件 futureC 无缝连接

让测试更加简单 *

图片 20.png

图片 20.png

10

futureI Eoulu 数据软件 futureD 无缝连接

让数据处理更加简单 *

图片 21.png

图片 22.png


* Eoulu 著作权





F1 尺寸和重量


序号项目不带机械手带机械手
1

典型尺寸

(W x D x H)

~1500 x 1115 x 1530 mm *

~2224 x 1506 x 1950 mm **

2

最大外围尺寸

(W x D x H)

~1750 x 1465 x 1600 mm~2534 x 1506 x 2000 mm
3主要尺寸标注F1全自动探针台轮廓尺寸示意图-R1-231024.png
4外观图Eoulu_F1探针平台系统_V3.0.jpg
5重量主机高低温温控高温温控机械手
~ 540 kg~ 245 kg~ 90 kg~ 345 kg


* 该尺寸包含显示器支架、鼠键支架,支架可调,该尺寸仅为典型数值

** 该尺寸包含显示器支架、鼠键支架、三色灯,支架可调,该尺寸仅为典型数值





F1 安装环境要求


1安装环境要求

安装环境

• 温度:17℃ ~ 25℃,± 0.5℃ 温度起伏

• 湿度:20% ~ 60%

存储环境

• 温度:10℃ ~ 30℃

• 湿度:<50%

• 存储时间:<6 个月(存储超过 6 个月需通电开机 24 小时)

现场要求

• 水平地板,承重需 >200 kg/㎡

• 震动 <100 micrometers/sec,rms (ISO Operating Theatre level) *

• 实验室洁净度:普通实验室(需符合本手册中 F1 安装环境和存储环境要求)

   推荐放置于万级及万级以上的洁净室 **


2电源要求

半自动探针台

• 探针台:单相 220 VAC(电压偏差 ﹢7%,-10%)***,50/60 Hz,1800 VA,国标 10A 插座

• 显示器、主机、真空泵:单相 220 VAC(电压偏差 ﹢7%,-10%)***,50/60 Hz,1000 VA,

   国标 10 A 插座(3 路,可用插排)

全自动探针台

• 探针台:单相 220 VAC(电压偏差 ﹢7%,-10%)***,50/60 Hz,1800 VA,国标 10A 插座

• 显示器、主机、真空泵:单相 220 VAC(电压偏差 ﹢7%,-10%)***,50/60 Hz,1000 VA,

   国标 10 A 插座(3 路,可用插排)

• 机械手:单相 220 VAC(电压偏差 ﹢7%,-10%)***,50/60 Hz,1000 VA,国标 10 A 插座

高低温温控系统

• 温控箱:单相 220 VAC (电压偏差 ﹢7%,-10%)***,50/60 Hz,国标 10 A 插座

• 水冷机:三相 380 VAC (电压偏差 ﹢7%,-7%)***,50/60 Hz,国标 32 A 5 芯航空插座

• 气冷机:三相 380 VAC (电压偏差 ﹢7%,-7%)***,50/60 Hz,国标 32 A 5 芯航空插座


3压缩干燥空气

(CDA)

常温探针台

• 气压6 ~ 8 bar (87 ~ 116 psi)

• 流量:>110 l/min

• 连接器外径 *****:

   半自动探针台:8 mm(CDA 1)

   全自动探针台:8 mm(CDA 1)、8 mm(CDA 2)

高低温探针台

• 气压:6 ~ 8 bar (87 ~ 116 psi)

• 流量:

   液冷温控:>150 l/min

   气冷温控:>350 l/min

• 露点:-70℃(当最低测试温度为 -60℃ 时)

   含油量:≤ 0.01 mg/m³ ****

• 连接器外径 *****:

   半自动探针台:8 mm(CDA 1)

   全自动探针台:8 mm(CDA 1)、8 mm(CDA 2)


4真空

气压

<-400 mbar

流量

>10 l/min

连接器外径 *****

半自动探针台:8 mm(VAC 1)

• 全自动探针台:8 mm(VAC 1)和 8 mm(VAC 2)


5

附件选型

空压机推荐选型

温度范围(液冷温控)

产品型号

室温

I-001

-60 ~ 150°C

I-002

-60 ~ 200°C

-60 ~ 300°C

-40 ~ 150°C

-40 ~ 200°C

-40 ~ 300°C

0 ~ 100°C

0 ~ 200°C

室温 ~ 150°C

室温 ~ 200°C

室温 ~ 300°C

真空泵推荐选型

-

K-001

6

CDA、VAC 连接器位置图

气管接口.png


* 参照《Generic vibration criteria for vibration-sensitive equipment》

** 采用国际标准 ISO 14644-1

*** 根据中华人民共和国国家标准 GB/T 156-2007 要求

**** 根据国际标准 ISO8573-1 要求

***** 接口 CDA 1、CDA 2、VAC 1、VAC 2 位置,请参考 F1 CDA、VAC 连接器示意图



F1 服务中心 *


服务分类

服务内容下单型号

硬件服务

(安装)

• 整机安装(量产模式)

SRV-301

整机安装(分析用模式)

SRV-501

配件安装

SRV-305

系统重装

SRV-306

仪表连接

SRV-307

接地服务

SRV-308


硬件服务

(校准)

精度校准

SRV-503

温度校准

SRV-505

机械手校准

SRV-506


硬件服务

(培训)

机台操作培训(量产模式)

SRV-303

机台操作培训(分析用模式)

SRV-502

射频校准培训

SRV-202

仪表操作培训

SRV-203


硬件服务

(其他)

机台 PM

PM-F1

机台搬迁

RELO-F1

陪同服务

SRV-201


软件服务

(安装)

• 现场安装

SRV-101

• 远程安装

SRV-103

软件服务

(更新)

平台功能

SRV-607

平台版本

SRV-606

测试脚本

SRV-608

仪表驱动

SRV-609

插件更新

SRV-701


软件服务

(培训)

• 软件操作

SRV-605

• 驱动开发

SRV-603

• 脚本开发

SRV-702

软件服务

(其他)

• 使用咨询

SRV-706

• 异常排查

SRV-703

• 陪同服务

SRV-705

应用服务

IV 测试

SRV-707

CV 测试

SRV-708

RF 测试

SRV-709

硅光测试

SRV-801

蓝膜测试

SRV-802

夹具测试

SRV-803

MMIC 测试

SRV-805

跑片扎针

SRV-806

发货服务

加急服务

SRV-807

保险服务

SRV-808

卸货服务

SRV-809

专车服务

SRV-901

仓储服务

SRV-902

上楼服务

SRV-903

清理服务

SRV-905


* 服务报价详情,请咨询 Eoulu 销售



产品参数如有变更,恕不另行通知。所有产品图片均以实物为准,苏州伊欧陆系统集成有限公司拥有内容解释权


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