Eoulu

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最好用的探针台，产自中国！

F1 探针台

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● 6寸、8寸和12寸，手动、半自动和全自动都是一个机型F1

● 选择 F1+futureC+仪表，探针台就配置好了

● 请致电 Eoulu 服务电话 4008808776 获取专业工程师支持！

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特点

结构

参数

说明书

世界上第一台可进化、会学习的探针平台系统

Eoulu 拥有 100% 知识产权

Eoulu 专利设计的全新数字化 3.0 系统架构

让机台变得更简单、更轻巧

世界上体积最小的 12 寸探针台，面宽仅 1 米

节省超净间费用，移动方便

拥有 Eoulu 著作权和专利的动态地图和静态地图系统

让机台更快更准确

Eoulu 专利“趋 0 误差 (C0)“和“虚拟尺 (VR) ”技术

专门测量不平整晶圆

F1 架构彻底解决目前市面上机台扎针的不确定性

是所有同行必然仿效的典范

F1 机械移动指标

序号	项目	载物台移动能力
序号	项目	X-axis	Y-axis	Z-axis	Theta-axis
1	行程	301 mm	301 mm	20 mm	10^◦
2	定位最高精度 *	≤ 0.05 μm	≤ 0.05 μm	≤ 1μm	± 0.003°
3	速度 **	≥ 50 mm/s	≥ 50 mm/s	≥ 20 mm/s	/
4	最大速度	150 mm/s	150 mm/s	35 mm/s	/
5	晶圆不平整度适配能力 *	100 μm
6	mapping 移动平均时间 ***	最小值	典型值	最大值
6	mapping 移动平均时间 ***	< 500 ms	< 1 s	< 3 s ****
7	XY 位置锁定 *****	最小值	典型值	最大值
7	XY 位置锁定 *****	0.02 μm	0.038 μm	1.5 μm
8	Z 位置锁定	最小值	典型值	最大值
8	Z 位置锁定	0.65 μm	3.5 μm	15 μm

* 开启 C0 和 VR 的情况下

** F1 载物台的移动速度，会因客户选择的 Chuck 大小、Chuck 结构（Coax 或 Triax）以及 Chuck 是否支持高低温而存在差异

*** 根据器件大小，不同移动精准度要求下会有一定差异

*** 高速度和高稳定性无法同时满足，Eoulu 可根据客户的芯片和测量应用，提供优化速度的服务。详情请联系销售，获取硬件及软件升级方案

**** 在 8 寸、常温、Triax Chuck 的情况下，F1 选用最高精度和最稳速度模式，1000 μm * 1000 μm 芯片移动时间

***** 根据配置和客户对精度速度的要求会有一定差异。XY 位置锁定的最小值需通过选配 CCD 来实现，标准款 CCD 无法达到

****** 针痕长度的标准差 σ ≤ 5 μm，可参考 Eoulu 的 futureD 产品数据，实测 8 寸晶圆超过 2000 个 DUT，在高精度跑片模式下，DUT 到 DUT，扎针针痕长度差保证在 3σ 内

****** 针痕起始位置标准差 σ ≤ 8 μm，可参考 Eoulu 的 futureD 产品数据，实测 8 寸晶圆 2000 个 DUT，在高精度、低速度跑片模式下，DUT 到 DUT，起始位置差保证在 3σ 内

****** 以上数据指标不低于同行水平，可参考同行 2022 年 8 月 22 日公开发布文章

F1 屏蔽能力

序号	屏蔽和噪声能力 *
1	光屏蔽	≥ 150 dB **
2	EMI 屏蔽	≥ 20 dB 0.5-20 GHz (typical)
3	频谱噪音水平	≤ -150 dBVrms/rtHz (≤ 1 MHz)
4	系统 AC 噪声	≤ 15 mVp-p (≤ 1 GHz)
5

* Eoulu F1 噪声测试系统，支持 1/f，RTS，RTN 噪声测试。在购买测试噪声的机台时，请购买噪声测试接地服务和噪声测试调试服务

* 除系统能力外，还要考虑环境条件，此项目不在客户端验证，可以安排到 Eoulu 苏州实验室验证

* F1 全自动探针台目前不带 Microchamber，该项参数不适用

** 单光子测试需额外增加屏蔽装置，该项参数不适用

** 该实验测试光路是指从显微镜正上方 90° 垂直入射光

** 光屏蔽波长为 200 ~ 2000 nm

F1 防震能力

序号	防震能力 *
1	垂直固有频率	2.5 ~ 2.7 Hz
2	水平固有频率	2.0 ~ 4.5 Hz
3	垂直阻尼（可调节）	6% ~ 20%
4	水平阻尼	5% ~ 6%
5	供气压力	0.3 ~ 0.5 Mpa
6	最大承重	1600 kg
7	隔振效率	5% ~ 6%
8	受外界激励时反应时间	< 1 s
9	防震级别	VC-C

* F1 防震台相关参数，请参考厂家溯源指标，此项目不在客户端验证

F1 显微镜

显微镜桥架
序号	项目	X 轴	Y 轴 ‍		Z 轴‍
1	行程	50 mm	50 mm		‍90 mm
2	最大可达定位精度	± 2 μm	± 2 μm‍		± 2 μm
3	速度	60 mm/s	60 mm/s		120 mm/s
显微镜 *
序号	项目	Large FOV		High Resolution
4	放大倍率典型范围 **	‍‍‍‍ 225 倍		500 ~ 2000 倍或更高
5	典型光学镜头分辨率 ***	3.0 μm		1.5 μm 或更小
6	实物图	‍
7	futureI 图像

* F1 探针台提供 Large FOV 和 High Resolution 2 种显微镜配置，请您根据测试需求进行选择

** 根据 CCD 配置会有不同倍率和颜色等差别

** 根据物镜配置不同（5X、10X、20X、50X、100X），放大倍率会有差别

*** 根据镜头配置会有不同的分辨率

F1 载物台

序号	项目	大小
		8 英寸		12 英寸
1	温度	室温	高低温	室温	高低温
2	最大可工作温度范围 *	-	-60 ~ 300°C	-	-60 ~ 300°C
3	高低温常见可选温度范围 **	-	-60 ~ 150°C -60 ~ 200°C -60 ~ 300°C -40 ~ 150°C -40 ~ 200°C -40 ~ 300°C 0 ~ 100°C 0 ~ 200°C 室温~ 150°C 室温~ 200°C 室温~ 300°C	-	-60 ~ 150°C -60 ~ 200°C -60 ~ 300°C -40 ~ 150°C -40 ~ 200°C -40 ~ 300°C 0 ~ 100°C 0 ~ 200°C 室温~ 150°C 室温~ 200°C 室温~ 300°C
4	温度精准度	± 1°C		± 1°C
5	温度分辨力	0.1°C		0.1°C
6	常温常压 Triax Chuck 漏电	≤ 132 fA		≤ 231 fA
7	常温常压 Triax Chuck 噪声	≤ 30 fA		≤ 42 fA
8	制冷模式	液冷和气冷可选
9	液冷温控制冷和加热时间 *** （典型经验值）	- 60°C → 25°C：23 min 25°C → 300°C：28 min 300°C → 25°C：25 min 25°C → - 60°C：37 min		- 60°C → 25°C：23 min 25°C → 300°C：28 min 300°C → 25°C：25 min 25°C → - 60°C：37 min
10	气冷温控制冷和加热时间 *** （典型经验值）	- 60°C → 25°C：9 min 25°C → 300°C：25 min 300°C → 25°C：12 min 25°C → - 60°C：29 min		- 60°C → 25°C：9 min 25°C → 300°C：25 min 300°C → 25°C：12 min 25°C → - 60°C：29 min
11	最大加热功率	5.5 kW
12	最大制冷功率	12.5 kW
13	最大冷媒输运速度	5 m/s
14	最大输运压力	4 bar
15	最大耐压（高功率特殊选项）****	10000 V
16	最大耐流（高功率特殊选项）****	800 A
17	使用申明	需严格按照本手册中“环境温度”和“环境湿度”要求进行存放。设备出厂前，需在载物台上放置晶圆片做性能验证、可靠性测试，因此, 载物台表面或探针台活动板上产生划痕无法完全避免，划痕不影响设备使用，不代表产品质量有问题。 F1 高低温探针台出厂前，需对温控系统和高低温载物台做升降温测试，因此载物台表面上产生烘烤痕迹（例如载物台颜色变化、水汽痕迹）无法完全避免，烘烤痕迹不影响设备使用，不代表质量有问题。
18	清洁	每月清洁一次探针平台，用柔软的无尘布清除载物台上的脏污，如果在使用过程产生了较多的灰尘、碎屑，需要增加清洁的频率。不要在载物台上使用工业级异丙醇 (IPA) 或任何其他化学品，使用不当溶剂或研磨剂可能会损坏探针台。
19	维护	除待测器件外，载物台不宜放置任何物品。如有螺丝松动，请及时按照力矩要求小心并均匀拧紧，必要时联系 Eoulu 售后团队处理。对于全自动系统，在维护或者未使用期间，要确保电源已正确关闭，并且不会在完成维护之前或使用前意外重新启动。
20	保养	对于高使用率的探针台，建议每年进行一次载物台的操作检查和保养。如下服务只能由 Eoulu 团队执行： 1. 载物台 X/Y/Z/Theta Stage 的调平和校准 2. 载物台的拆卸和安装
21	Eoulu 高性能温控 Chuck

* 用户可根据测试需求，在此温度范围内进行选择

** 如有其它温度范围需求，请联系 Eoulu 销售

** 温度范围越大，购买成本越高；室温以下的测试需制冷，温度越低，购买成本越高。请按实际测试要求选择合适温度范围

** 高低温完整晶圆跑片，需配置全自动定位器

*** 在温度 20°C~24°C、湿度 40%~50% 环境下的实测值

**** 高压高流不能同时达到

**** 更高电压或更高电流，请联系 Eoulu 定制

F1 控制软件 future interface ( futureI )

序号	项目	futureI 功能
1	单页面操作	是
2	自动对焦	包含
3	两点对齐	包含
4	自动对齐	包含
5	AutoZ	包含
6	高速 AutoZ	选配
7	双舵操作 *	显微镜和载物台移动
8	futureI 实物界面 *
9	futureI 与 Eoulu 测试软件 futureC 无缝连接让测试更加简单 *
10	futureI 与 Eoulu 数据软件 futureD 无缝连接让数据处理更加简单 *

* Eoulu 著作权

F1 尺寸和重量

序号	项目	不带机械手		带机械手
1	典型尺寸 (W x D x H）	~1500 x 1115 x 1530 mm *		~2224 x 1506 x 1950 mm **
2	最大外围尺寸 (W x D x H）	~1750 x 1465 x 1600 mm		~2534 x 1506 x 2000 mm
3	主要尺寸标注
4	外观图
5	重量	主机	高低温温控（液冷）	高低温温控（气冷）	机械手
		~ 540 kg	~ 245 kg	~ 295 kg	~ 345 kg

* 该尺寸包含显示器支架、鼠键支架，支架可调，该尺寸仅为典型数值

** 该尺寸包含显示器支架、鼠键支架、三色灯，支架可调，该尺寸仅为典型数值

F1 安装环境要求

1	安装环境要求	安装环境	• 温度：17℃ ~ 25℃，± 0.5℃ 温度起伏 • 湿度：20% ~ 60%
		存储环境	• 温度：10℃ ~ 30℃ • 湿度：≤ 50% • 存储时间：≤ 6 个月（存储超过 6 个月需通电开机 24 小时）
		现场要求	• 水平地板，承重需 ≥ 200 kg/㎡ • 震动 ≤ 100 micrometers/sec,rms (ISO Operating Theatre level) * • 实验室洁净度：普通实验室（需符合本手册中 F1 安装环境和存储环境要求）推荐放置于万级及万级以上的洁净室 **

2	电源要求	半自动探针台	• 探针台：单相 220 VAC（电压偏差 ﹢7%，-10%）*，50/60 Hz，1800 VA，国标 10A 插座 • 显示器、主机、真空泵：单相 220 VAC（电压偏差 ﹢7%，-10%）*，50/60 Hz，1000 VA，国标 10 A 插座（3 路，可用插排）
		全自动探针台	• 探针台：单相 220 VAC（电压偏差 ﹢7%，-10%）*，50/60 Hz，1800 VA，国标 10A 插座 • 显示器、主机、真空泵：单相 220 VAC（电压偏差 ﹢7%，-10%），50/60 Hz，1000 VA，国标 10 A 插座（3 路，可用插排） • 机械手：单相 220 VAC（电压偏差 ﹢7%，-10%）**，50/60 Hz，1000 VA，国标 10 A 插座
		高低温温控系统	• 温控箱：单相 220 VAC （电压偏差 ﹢7%，-10%）*，50/60 Hz，国标 10 A 插座 • 水冷机：三相 380 VAC （电压偏差 ﹢7%，-7%），50/60 Hz，国标 32 A 5 芯航空插座 • 气冷机：三相 380 VAC （电压偏差 ﹢7%，-7%）**，50/60 Hz，国标 32 A 5 芯航空插座

3	压缩干燥空气 ****** (CDA)	常温探针台	• 气压：4.5 ~ 8 bar (65 ~ 116 psi) • 露点：≤ -20°C • 连接器外径 *****：半自动探针台：8 mm（CDA 1）全自动探针台：8 mm（CDA 1）、8 mm（CDA 2）
		高低温探针台	高低温测试 Chuck 不结霜条件： • 气压：4.5 ~ 8 bar (65 ~ 116 psi) • 流量：液冷温控：≥ 100 l/min @ 4.5 bar 气冷温控：≥ 400 l/min @ 4.5 bar • 露点：≤ -70°C（当最低测试温度为 -60℃ 时）含油量：≤ 0.01 mg/m³ ** • 连接器外径 ***：半自动探针台：8 mm（CDA 1）全自动探针台：8 mm（CDA 1）、8 mm（CDA 2）

4	真空 ******	绝对真空度	• ≤ 0.4 bar @ 10 l/min
		相对真空度	• ≤ - 0.6 bar @ 10 l/min
		流量	• ≥ 10 l/min
		连接器外径 *****	• 半自动探针台：8 mm（VAC 1） • 全自动探针台：8 mm（VAC 1）和 8 mm（VAC 2）

5	附件选型	空压机推荐选型	温度范围（液冷温控）	产品型号
			室温	I-001
			-60 ~ 150°C	I-002
			-60 ~ 200°C
			-60 ~ 300°C
			-40 ~ 150°C
			-40 ~ 200°C
			-40 ~ 300°C
			0 ~ 100°C
			0 ~ 200°C
			室温 ~ 150°C
			室温 ~ 200°C
			室温 ~ 300°C
		真空泵推荐选型	-	K-001

6	CDA、VAC 连接器位置图

****** 参照《Generic vibration criteria for vibration-sensitive equipment》

****** 采用国际标准 ISO 14644-1

****** 根据中华人民共和国国家标准 GB/T 156-2007 要求

****** 根据国际标准 ISO8573-1 要求

****** 采用国际标准 ISO 14743:2020

****** 接口 CDA 1、CDA 2、VAC 1、VAC 2 位置，请参考如下 F1 CDA、VAC 连接器示意图

****** 实验室环境为标准环境温度和压力（SATP）下的测量值；更多有关 CDA 气压和流量信息，请咨询 Eoulu 工程师

F1 服务中心 *

服务分类	服务内容	下单型号
硬件服务（安装）	• 整机安装（量产模式）	SRV-301
	• 整机安装（分析用模式）	SRV-501
	• 配件安装	SRV-305
	• 系统重装	SRV-306
	• 仪表连接	SRV-307
	• 接地服务	SRV-308

硬件服务（校准）	• 精度校准	SRV-503
	• 温度校准	SRV-505
	• 机械手校准	SRV-506

硬件服务（培训）	• 机台操作培训（量产模式）	SRV-303
	• 机台操作培训（分析用模式）	SRV-502
	• 射频校准培训	SRV-202
	• 仪表操作培训	SRV-203

硬件服务（其他）	• 机台 PM	PM-F1
	• 机台搬迁	RELO-F1
	• 陪同服务	SRV-201

软件服务（安装）	• 现场安装	SRV-101
软件服务（安装）	• 远程安装	SRV-103

软件服务（更新）	• 平台功能	SRV-607
	• 平台版本	SRV-606
	• 测试脚本	SRV-608
	• 仪表驱动	SRV-609
	• 插件更新	SRV-701

软件服务（培训）	• 软件操作	SRV-605
	• 驱动开发	SRV-603
	• 脚本开发	SRV-702

软件服务（其他）	• 使用咨询	SRV-706
	• 异常排查	SRV-703
	• 陪同服务	SRV-705

应用服务	• IV 测试	SRV-707
	• CV 测试	SRV-708
	• RF 测试	SRV-709
	• 硅光测试	SRV-801
	• 蓝膜测试	SRV-802
	• 夹具测试	SRV-803
	• MMIC 测试	SRV-805
	• 跑片扎针	SRV-806

发货服务	• 加急服务	SRV-807
	• 保险服务	SRV-808
	• 卸货服务	SRV-809
	• 专车服务	SRV-901
	• 仓储服务	SRV-902
	• 上楼服务	SRV-903
	• 清理服务	SRV-905

* 服务报价详情，请咨询 Eoulu 销售

产品参数如有变更，恕不另行通知。所有产品图片均以实物为准，苏州伊欧陆系统集成有限公司拥有内容解释权

Eoulu_F1探针平台系统_V3.5.0_202409018.pdf

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