Eoulu

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最好用的探针台，产自中国！

F1 探针台

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● 6寸、8寸和12寸，手动、半自动和全自动都是一个机型F1

● 选择 F1+futureC+仪表，探针台就配置好了

● 请致电 Eoulu 服务电话 4008808776 获取专业工程师支持！

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图文展示3264(1)(1)(1)(1)(1)

特点

结构

参数

说明书

世界上第一台可进化、会学习的探针平台系统

Eoulu 拥有 100% 知识产权

Eoulu 专利设计的全新数字化 3.0 系统架构

让机台变得更简单、更轻巧

世界上体积最小的 12 寸探针台，面宽仅 1 米

节省超净间费用，移动方便

拥有 Eoulu 著作权和专利的动态地图和静态地图系统

让机台更快更准确

Eoulu 专利“趋 0 误差 (C0)“和“虚拟尺 (VR) ”技术

专门测量不平整晶圆

F1 架构彻底解决目前市面上机台扎针的不确定性

是所有同行必然仿效的典范

F1 机械移动指标

序号	项目	载物台移动能力
序号	项目	X-axis	Y-axis	Z-axis	Theta-axis
1	行程	301 mm	301 mm	≥ 10 mm	10^◦
2	定位最高精度 *	≤ 0.05 μm	≤ 0.05 μm	≤ 1μm	± 0.003°
3	速度 **	≥ 50 mm/s	≥ 50 mm/s	≥ 20 mm/s	NA
4	最大速度	150 mm/s	150 mm/s	35 mm/s	NA
5	晶圆不平整度适配能力 *	100 μm
6	mapping 移动平均时间 ***	最小值	典型值	最大值
6	mapping 移动平均时间 ***	< 500 ms	< 1 s	< 3 s ****
7	XY 位置锁定 *****	最小值	典型值	最大值
7	XY 位置锁定 *****	0.02 μm	0.038 μm	1.5 μm
8	Z 位置锁定	最小值	典型值	最大值
8	Z 位置锁定	0.65 μm	3.5 μm	15 μm

* 开启 C0 和 VR 的情况下

** F1 载物台的移动速度，会因客户选择的 Chuck 大小、Chuck 结构（Coax 或 Triax）以及 Chuck 是否支持高低温而存在差异

*** 该时间仅为机械移动时间，不包含对位时间。不同器件大小、不同移动精准度、不同稳定性要求下会有一定差异

*** 高速度和高稳定性无法同时满足，Eoulu 可根据客户的芯片和测量应用，提供测试精度优化或测试速度优化的服务选项。详情请联系销售，获取硬件及软件升级方案

**** 在 8 寸、常温、Triax Chuck 的情况下，F1 选用最高精度和最稳速度模式，1000 μm * 1000 μm 芯片移动时间

***** 根据配置和客户对精度速度的要求会有一定差异。XY 位置锁定的最小值需通过选配 CCD 来实现，标准款 CCD 无法达到

****** 针痕长度的标准差 σ ≤ 5 μm，可参考 Eoulu 的 futureD 产品数据，实测 8 寸晶圆超过 2000 个 DUT，在高精度跑片模式下，DUT 到 DUT，扎针针痕长度差保证在 3σ 内

****** 针痕起始位置标准差 σ ≤ 8 μm，可参考 Eoulu 的 futureD 产品数据，实测 8 寸晶圆 2000 个 DUT，在高精度、低速度跑片模式下，DUT 到 DUT，起始位置差保证在 3σ 内

****** 以上数据指标不低于同行水平，可参考同行 2022 年 8 月 22 日公开发布文章

F1 屏蔽能力

序号	屏蔽和噪声能力 *
1	光屏蔽	≥ 150 dB **
2	EMI 屏蔽	≥ 20 dB 0.5-20 GHz (typical)
3	频谱噪音水平	≤ -150 dBVrms/rtHz (≤ 1 MHz)
4	系统 AC 噪声	≤ 15 mVp-p (≤ 1 GHz)
5

* Eoulu F1 噪声测试系统，支持 1/f，RTS，RTN 噪声测试。在购买测试噪声的机台时，请购买噪声测试接地服务和噪声测试调试服务

* 除系统能力外，还要考虑环境条件，此项目不在客户端验证，可以安排到 Eoulu 苏州实验室验证

** 单光子测试需额外增加屏蔽装置，该项参数不适用

** 该实验测试光路是指从显微镜正上方 90° 垂直入射光

** 光屏蔽波长为 200 ~ 2000 nm

F1 防震能力

序号	防震能力 *
序号	项目	Option 1（标准版）	Option 2（高配版）
1	垂直固有频率	2.6 ~ 5.3 Hz	2.5 ~ 2.7 Hz
2	水平固有频率	NA	2.0 ~ 4.5 Hz
3	垂直阻尼（可调节）	NA	6% ~ 20%
4	水平阻尼	NA	5% ~ 6%
5	供气压力	0.3 ~ 0.5 MPa	0.3 ~ 0.5 MPa
6	最大承重	800 kg	1600 kg
7	隔震效率	≥ 95%	≥ 95%
8	受外界激励时反应时间	NA	< 1 s
9	防震级别	NA	VC-C

* F1 防震台相关参数，请参考厂家溯源指标，此项目不在客户端验证

F1 显微镜

显微镜桥架
序号	项目	X 轴	Y 轴 ‍		Z 轴‍
1	行程	50 mm	50 mm		‍90 mm
2	最大可达定位精度	± 3 μm	± 3 μm‍		± 3 μm
3	速度	60 mm/s	60 mm/s		120 mm/s
显微镜 *
序号	项目	Large FOV		High Resolution
4	放大倍率典型范围 **	‍‍‍‍ 225 倍		500 ~ 2000 倍或更高
5	典型光学镜头分辨率 ***	3.0 μm		1.5 μm 或更小
6	实物图	‍
7	futureI 图像

* F1 探针台提供 Large FOV 和 High Resolution 2 种显微镜配置，请您根据测试需求进行选择

** 根据 CCD 配置会有不同倍率和颜色等差别

** 根据物镜配置不同（5X、10X、20X、50X、100X），放大倍率会有差别

*** 根据镜头配置会有不同的分辨率

F1 载物台

序号	项目	大小
序号	项目	8 英寸		12 英寸
1	温度	室温	高低温	室温	高低温
2	最大可工作温度范围 *	NA	-60 ~ 300°C	NA	-60 ~ 300°C
3	高低温常见可选温度范围 * *	NA	-60 ~ 150°C -60 ~ 200°C -60 ~ 300°C -40 ~ 150°C -40 ~ 200°C -40 ~ 300°C 0 ~ 100°C 0 ~ 200°C 室温 ~ 150°C 室温 ~ 200°C 室温 ~ 300°C	NA	-60 ~ 150°C -60 ~ 200°C -60 ~ 300°C -40 ~ 150°C -40 ~ 200°C -40 ~ 300°C 0 ~ 100°C 0 ~ 200°C 室温 ~ 150°C 室温 ~ 200°C 室温 ~ 300°C
4	温度精准度	± 1°C		± 1°C
5	温度分辨力	0.1°C		0.1°C

6	常温常压 Triax Chuck 漏电	标准款：≤ 132 fA 低漏电款：≤ 65 fA	标准款：≤ 231 fA 低漏电款：≤ 65 fA
7	常温常压 Triax Chuck 噪声	标准款：≤ 30 fA 低漏电款：≤ 16 fA	标准款：≤ 42 fA 低漏电款：≤ 16 fA
8	制冷模式	液冷和气冷可选
9	最大耐压（高功率特殊选项）* **	10000 V
10	最大耐流（高功率特殊选项）* **	800 A
11	Eoulu 高性能温控 Chuck

12	8 英寸载物台制冷和加热时间（典型经验值）* ***	-60°C → 25°C:7 min 25°C → 300°C:33 min 300°C → 25°C：15 min 25°C → -60°C：25 min	-60°C → 25°C:22 min 25°C → 300°C：25 min 300°C → 25°C：20 min 25°C → -60°C：30 min	-60°C → 25°C:23 min 25°C → 300°C:28 min 300°C → 25°C：25 min 25°C → -60°C：37 min
13	12 英寸载物台制冷和加热时间（典型经验值）* ***	-60°C→25°C:7 min 25°C→300°C:33 min 300°C→25°C:15 min 25°C →-60°C：25 min	-60°C→25°C:22 min 25°C→300°C:25 min 300°C→25°C:20 min 25°C → -60°C：30 min	-60°C→25°C:23 min 25°C→300°C:28 min 300°C→25°C:25 min 25°C → -60°C：37 min
14	噪声 * ****	≤ 65 dB	≤ 70 dB	≤ 72 dB
15	重量	~ 180 kg	~ 295 kg	~ 180 kg

* 用户可根据测试需求，在此温度范围内进行选择

** 如有其它温度范围需求，请联系 Eoulu 销售
** 温度范围越大，购买成本越高；室温以下的测试需制冷，温度越低，购买成本越高。请按实际测试要求选择合适温度范围
** 高低温完整晶圆跑片，需配置全自动定位器
* ** 高压高流不能同时达到

* ** 更高电压或更高电流需定制
* *** 在温度 20°C ~ 24°C、湿度 40% ~ 50% 环境下的实测值

* **** 该数值于设备正常运行，距设备外壳水平距离 1 m ，离地（或参照基准面）高度 1.5 m 处测得

F1 控制软件 future interface ( futureI )

序号	项目	futureI 功能
1	单页面操作	是
2	自动对焦	包含
3	两点对齐	包含
4	自动对齐	包含
5	AutoZ	包含
6	高速 AutoZ	选配
7	双舵操作 *	显微镜和载物台移动
8	futureI 实物界面 *
9	futureI 与 Eoulu 测试软件 futureC 无缝连接让测试更加简单 *
10	futureI 与 Eoulu 数据软件 futureD 无缝连接让数据处理更加简单 *

* Eoulu 著作权

F1 尺寸和重量

序号	项目	不带机械手*	带机械手**
1	典型尺寸 (W x D x H）	~1500 x 1115 x 1543.5 mm	~2063 x 1620 x 1954 mm
2	最大外围尺寸 (W x D x H）	~1750 x 1465 x 1613.5 mm	~2373 x 1620 x 2004 mm
3	主要尺寸标注
4	外观图
5	重量	探针台	机械手
		540 ~ 850 kg	280 ~ 345 kg

* 该尺寸包含显示器支架、鼠键支架，支架可调，该尺寸仅为典型数值

** 该尺寸包含显示器支架、鼠键支架、三色灯，支架可调，该尺寸仅为典型数值

F1 安装环境要求

安装环境要求

安装环境

温度：17°C ~ 25°C ， ± 0.2°C 温度起伏

湿度：20% ~ 50%（推荐值：30% ~ 40%）

存储环境

温度：10°C ~ 30°C

湿度：≤ 50%

存储时间：≤ 6 个月（存储超过6个月需通电开机24小时）

现场要求

水平地板，承重需 ≥ 345 kg/㎡

震动 ≤ 100 micrometers/sec, rms (ISO Operating Theatre level) *

实验室洁净度：普通实验室（需符合本手册中F1 安装环境和存储环境要求）

推荐放置于万级及万级以上的洁净室 * *

电源要求

半自动探针台

探针台：单相 220 VAC（电压偏差 + 7% ，- 10%）* ** ，50/60 Hz，1800 VA，国标10A 插座

显示器、主机、真空泵：单相 220 VAC（电压偏差 + 7% ，- 10%）* ** ，50/60 Hz，1000 VA，国标 10 A 插座（3 路，可用插排）

全自动探针台

探针台：单相 220 VAC（电压偏差 + 7% ，- 10%）* ** ，50/60 Hz，1800 VA，国标10A 插座

显示器、主机、真空泵：单相 220 VAC（电压偏差 + 7% ，- 10%）* ** ，50/60 Hz，1000 VA，国标 10 A 插座（3 路，可用插排）

机械手：单相 220 VAC（电压偏差 + 7% ，- 10%）* ** ，50/60 Hz，1000 VA，国标 10 A 插座

高低温温控系统

温控箱：单相 220 VAC （电压偏差 + 7% ，- 10%）* ** ，50/60 Hz，国标 10 A 插座

水冷机：三相 380 VAC （电压偏差 + 7% ，- 10%）* ** ，50/60 Hz，国标 32 A 5芯航空插座

气冷机（Option1）：单相 220 VAC（电压偏差 + 7%，- 10%）* **，50 Hz，国标 32 A 5芯航空插座

气冷机（Option2）：三相 380 VAC（电压偏差 + 7%，- 10%）* **，50/60 Hz，国标 32 A 5 芯航空插座

压缩干燥空气 * *****

(CDA)

常温探针台

气压：4.5 ~ 8 bar（65 ~ 116 psi）

露点：≤ -20°C

连接器外径 * ****:

半自动探针台：8 mm（CDA 1）

全自动探针台：8 mm（CDA 1）、8 mm（CDA 2）

高低温探针台

高低温测试Chuck不结霜条件：

气压：4.5 ~ 8 bar（65 ~ 116 psi）

流量：

液冷温控： ≥ 100 L/min @ 4.5 bar

气冷温控： ≥ 400 L/min @ 4.5 bar

露点：≤ -70°C（当最低测试温度为-60°C时）

含油量：≤ 0.01 mg/m³ * ***

连接器外径 * ****:

半自动探针台：8 mm（CDA 1）

全自动探针台：8 mm（CDA 1）、8 mm（CDA 2）

真空 * *****

绝对真空度

半自动/全自动探针台：≤ 0.4 bar @ 10 L/min

机械手：≤ 0.29 bar @ 10 L/min

相对真空度

半自动/全自动探针台：≤ -0.6 bar @ 10 L/min

机械手：≤ -0.72 bar @ 10 L/min

流量

半自动/全自动探针台： ≥ 10 L/min

机械手： ≥ 10 L/min

连接器外径 * ****

半自动探针台：8 mm（VAC 1）

全自动探针台：8 mm（VAC 1）、 8 mm（VAC 2）

机械手：8 mm

5	附件选型	空压机推荐选型	温度范围（液冷温控）	产品型号
			室温	I-001
			-60 ~ 150°C	I-002
			-60 ~ 200°C
			-60 ~ 300°C
			-40 ~ 150°C
			-40 ~ 200°C
			-40 ~ 300°C
			0 ~ 100°C
			0 ~ 200°C
			室温 ~ 150°C
			室温 ~ 200°C
			室温 ~ 300°C
		真空泵推荐选型	NA	K-001

CDA、VAC 连接器位置图

****** 参照《Generic vibration criteria for vibration-sensitive equipment》

****** 采用国际标准 ISO 14644-1

****** 根据中华人民共和国国家标准 GB/T 156-2007 要求

****** 根据国际标准 ISO8573-1 要求

****** 采用国际标准 ISO 14743:2020

****** 接口 CDA 1、CDA 2、VAC 1、VAC 2 位置，请参考如下 F1 CDA、VAC 连接器示意图

****** 实验室环境为标准环境温度和压力（SATP）下的测量值；更多有关 CDA 气压和流量信息，请咨询 Eoulu 工程师

F1 服务中心 *

服务分类	服务内容	下单型号
硬件服务（安装）	• 整机安装（量产模式）	SRV-301
	• 整机安装（分析用模式）	SRV-501
	• 配件安装	SRV-305
	• 系统重装	SRV-306
	• 仪表连接	SRV-307
	• 接地服务	SRV-308

硬件服务（校准）	• 精度校准	SRV-503
	• 温度校准	SRV-505
	• 机械手校准	SRV-506

硬件服务（培训）	• 机台操作培训（量产模式）	SRV-303
	• 机台操作培训（分析用模式）	SRV-502
	• 射频校准培训	SRV-202
	• 仪表操作培训	SRV-203

硬件服务（其他）	• 机台 PM	PM-F1
	• 机台搬迁	RELO-F1
	• 陪同服务	SRV-201

软件服务（安装）	• 现场安装	SRV-101
软件服务（安装）	• 远程安装	SRV-103

软件服务（更新）	• 平台功能	SRV-607
	• 平台版本	SRV-606
	• 测试脚本	SRV-608
	• 仪表驱动	SRV-609
	• 插件更新	SRV-701

软件服务（培训）	• 软件操作	SRV-605
	• 驱动开发	SRV-603
	• 脚本开发	SRV-702

软件服务（其他）	• 使用咨询	SRV-706
	• 异常排查	SRV-703
	• 陪同服务	SRV-705

应用服务	• IV 测试	SRV-707
	• CV 测试	SRV-708
	• RF 测试	SRV-709
	• 硅光测试	SRV-801
	• 蓝膜测试	SRV-802
	• 夹具测试	SRV-803
	• MMIC 测试	SRV-805
	• 跑片扎针	SRV-806

发货服务	• 加急服务	SRV-807
	• 保险服务	SRV-808
	• 卸货服务	SRV-809
	• 专车服务	SRV-901
	• 仓储服务	SRV-902
	• 上楼服务	SRV-903
	• 清理服务	SRV-905

* 服务报价详情，请咨询 Eoulu 销售

产品参数如有变更，恕不另行通知。所有产品图片均以实物为准，苏州伊欧陆系统集成有限公司拥有内容解释权

Eoulu_F1探针平台系统_V3.5.8_20260301.pdf

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