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futureC 半导体在片测试系统集成软件


futureC Eoulu 自主研发的统一硬件通信与测试平台,

也是晶圆在片测试测量操作系统。

futureC 可以轻松集成所有可编程控制的设备。




图文展示3264(1)
特点
结构
参数
说明书
futureC 帮您做好这一切!
EUCP 升级版
快速集成各类可编程测试设备,快速Mapping

平台与应用、仪表分离,专业软件团队模块化维护,减小测量对工程师的依赖

高精度、高速度测试

所测即所得,原始数据、萃取参数自动整合文件,支持无缝上传futureD数据库

快速集成可编程设备
快速Mapping
仪表变更或应用变更
测试软件不需要重写
高精度
高速度测试
强大的客户群体
丰富的测量方法库
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       设备通信

       设备驱动与测试平台分离

       丰富的设备驱动库以及模块化快速驱动开发


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       MapEditor 编辑器

       用户在传统晶圆地图编辑基础上更直观体验

       用户自定义 Sub Die 地图

       精确映射 DUT 实际位置

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       晶圆测试系统

       支持自动化晶圆测试

       支持自定义位置测试

       支持丰富的测试结果色阶图



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       数据离线分级

       根据测试数据及晶圆地图

       用户可以重新定义数据分级条件

       分级信息重定义数据覆盖原晶圆地图


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      多种测试模式

      支持测试结果选择性复测

      支持断点续测

      挑选指定位置测试

      测试报警与报警器提醒



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       测试结果分级

       用户自定义分级条件

           设置测试结果接受/拒绝接受的条件

           最大支持4096分级与色阶

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       多测量模式

       单点测试测量

       单个位置重复测试测量

       支持碎片测量与晶圆测量

            图形化曲线显示二维曲线,三维曲线、射频曲线显示与示波器波形

           展示测试信息与扼要数据统计,如测试时间和成品率






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       设置测试菜单

       自动列出集成设备应用输入输出参数

           用户自定义测试流程作为测试菜单

           导入/导出测试菜单



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       所测即所得

           文件数据格式化保存

           用户自定义测试结果输出项目与顺序

           拖拽功能使操作便捷快速

数据保存
快速开始测试
Mapping 与测量控制
工厂自动化
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       SECS/GEM 协议组件

       无缝衔接 futureDweb 大数据管理平台)

       SEMI E5-0600SECS-II)标准

       SEMI E30GEM)标准

       SEMI E37HSMS)标准

futureC 安装环境
futureC 测试系统典型速度值
使用环境
无特别环境要求

注:futureC支持实时数据保存与断点续测,避免意外带来的数据丢失问题

测试速度与测试PC的配置和运行状态有关,以下典型值运行资源为Win10 64bitCPU I7-916G内存:

PC 端配置推荐
操作系统Win10/Win11
处理器Intel 酷睿 i3 四核 3.6 GHz
显卡独立显卡 1G
内存8 GB 运行内存
硬盘500GHz
浏览器不涉及
显示器分辨率1920×1080
文件读写0.003s/1000
仪表IO85ms/
2Port-S参数(201,IFBW=10KHz200ms/DUT
DC扫描(K2400AutoRange3.9s/50 point
附录1:常用驱动举例

设备商

可编程设备类别

设备型号

Keysight(Agilent)

DC Power Supply

Agilent E3631 Series

Agilent 6625A, 6626A,6628A, and 6629A

Agilent N6700 Series

DC Source Meter

HP 4142B

Dynamic Signal Analyzer

Agilent 35670

ENA

Agilent E5071 Series

Agilent E8362 Series

Agilent E8363 Series

LCR Meter

Agilent LCR E49XX Series

Agilent LCR 4284A

Lightwave Component Analyzer

Agilent N4373

Multimeter

Agilent 34410

Agilent 34411

Agilent 3458A

Agilent 34401

Oscilloscope

Agilent 86100 Series

Agilent 54830 Infiniium Series

Agilent InfiniiVision 6000 Series

PNA-X

Agilent PNA-X Series

Semiconductor Parameter Analyzer

Agilent 4156 Series

Agilent B1500 Series

Agilent B1505 Series

DAQ/Switch

Agilent 34972A

Agilent B2201A

Agilent 5250A

HP 4085M

Pulse/Data Generator

Agilent 81110A

Agilent 81104A

Function / Arbitrary Waveform Generator

Agilent 33500 & 33600 Series Waveform Generators

NFA Series

Agilent N897xA

Agilent X-Series Signal Analyzer

PXA Signal Analyzer N9030A

MXA Signal Analyzer N9020A

EXA Signal Analyzer N9010A

CXA Signal Analyzer N9000A

NI

Function / Arbitrary Waveform Generator

NI 5402

DAQ/Switch

NI 6501

NI 6221

TEK

Semiconductor Parameter Analyzer

Keithley 4200A-SCS

DC Source Meter

Keithley 2400 Series

Keithley 2500 Series

Keithley 2600 Series

DAQ/Switch

Keithley 2700 Series

Keithley 7001

Keithley 700 Series

Electrometer

Keithley 6517 Series

Function / Arbitrary Waveform Generator

TEK AFG 1000

TEK AFG 2000

TEK AFG 3000

TEK AWG 4000

Oscilloscope

TEK MDO 3000 Series

TEK MDO 4000 Series

R&S

VNA

ZVA Series

Signal and Spectrum Analyzer

RSFSW Series

Anritsu

VNA

MS462XX Series

AU37XX Series

SRS

Lock-In Amplifier

SR830,SR810

YOKOGAWA

Optical Spectrum Analyzer

AQ6370C/AQ6370D/AQ6373/

AQ6373B/AQ6375/AQ6375B

Instrument Systems

Spectrometer

CAS 120

CAS 140CT

Maury

Tuner

Maury Automated Tuner Series

Cascade

Prober Station

Cascade Manual Probe Station Full Series

Cascade Semi-auto Probe Station Full Series

Cascade Full-auto Probe Station Full Series

Cascade High Power Probe Station Full Series

Newport

Monochromator

Oriel Cornerstone 260

Positioning Stages

Nano PZ M562

Auriga

Pulse IV System

Auriga 4850

EOULU

Plug-in

Matlab Controller

Third Party COM Object or System

Iwatsu

High Power Static Tester

CT3200

CT10400

STESLA

High Power Static Tester

Full Series

DTESLA

High Power Dynamic Tester

Full Series

ASTEK

DC Power Supply

IT6100   Series

IT6874

IT8500


附录2:测试应用驱动快速选型

应用选型推荐仪表组合测量项目库

DC/CV

Keysight B1500A
-B1511B HRSMU 测量范围200 V / 1 A /,分辨率1fA
-B1511A MPSMU测量范围100 V / 0.1 A/,分辨率 10 fA
-B1510A HPSMU 测量范围100 V / 0.1 A/,分辨率 10 fA
-B1514A MCSMU 脉冲范围30 V / 1 A0.1 A 直流)50 µs 最小脉宽,2 µs 分辨率
-B1520A MFCMU 频率范围 1 kHz~5 MHz,分辨率1 mHz
-SCUU
-GNDU

Keysight B2201A
-B2211A ×4   12ch low leakage switch module

Vth/Gm/Vknee/Vclamp/Rds/Idsat/Idlin...
ID-VD
ID-VG
CurveFit
BV(BVCEO/BVCBO/BVGSS/BVDSS)
β
CV Sweep
Cp-D
Pulse IV

RF

Keysight B1500A
- B1511B HRSMU 测量范围200 V / 1 A /,分辨率1fA
- B1511A MPSMU测量范围100 V / 0.1 A/,分辨率 10 fA
- B1510A HPSMU 测量范围100 V / 0.1 A/,分辨率 10 fA
- B1514A MCSMU 脉冲范围30 V / 1 A0.1 A 直流)50 µs 最小脉宽,2 µs 分辨率
- B1520A MFCMU 频率范围 1 kHz~5 MHz,分辨率1 mHz
- SCUU
- GNDU
Keysight N5227B PNA
- Bias Module/Bias Tee
Wincal
Kohzu Positioner
- CURX

S1P
S2P
S3P
S4P
偏置电压下S2P测试
TraceFetch
P1dB
P3dB
功率扫描
三阶交调IP3
Noise Figure噪声系数
自动校准
相位扫描

Si-Photoelectric

Keysight LCA N4375E
Keysight B2902A电源表
Keysight N7747A光功率计
Keysight N7786B偏振器
Keysight 8164B可调谐光源
- 81608A
Glsun SUN-FSW-1X8光开关
PI E-712/ PI Hex-Nano

自动耦合
拍频测试
功率扫描
波长扫描
光电S参数测试
OE-光响应度测试
OE-扫描波长测试光电流
OE-扫描光功率测试光电流
IL
PDL
FiberArray

Eye Diagram

Keysight 11713A衰减器
Keysight 34401A数字万用表
Keysight E3631A电源
Keysight 86100A眼图分析仪,带宽超过50 GHz,时域反射计/时域传输(TDR/TDT
Anritsu MP1800A BERT
-MP1800A-001 GPIB
-MU181000B 12.5 GHz 4port Synthesizer
-MU183040B 28G/32G bit/s High Sensitivity ED
-MU195040A 21G/32G bit/s SI ED

Thd总谐波失真
EyeAmplitude
EyeCrossing
EyeSNR
EyeJitterPP
EyeJitterRMS
EyeFallTime
EyeRiseTime

Solder Ball

Keysight B1500A
-B1511B HRSMU 测量范围200 V / 1 A /,分辨率1fA
-B1511A MPSMU测量范围100 V / 0.1 A/,分辨率 10 fA
-B1510A HPSMU 测量范围100 V / 0.1 A/,分辨率 10 fA
-B1514A MCSMU 脉冲范围30 V / 1 A0.1 A 直流)50 µs 最小脉宽,2 µs 分辨率
-GNDU
Keysight3458A

Ileakage
Rs/Rc

MEMS

Keithley 2400
Keysight 5250A低漏电开关矩阵
-E5252A ×4 pcs 12channel Output   Matrix Switch   
Keysight LCRE4980
Keysight 34410A
Keysight 35670
Keysight E3631A
NI PCI-6221

Qvalue
Risolation
Rdson
CV
Bandwith

Reliability Test

Keysight B1500A
- B1511B HRSMU 测量范围200 V / 1 A /,分辨率1fA
- B1511A MPSMU测量范围100 V / 0.1 A/,分辨率 10 fA
- B1510A HPSMU 测量范围100 V / 0.1 A/,分辨率 10 fA
- B1514A MCSMU 脉冲范围30 V / 1 A0.1 A 直流)50 µs 最小脉宽,2 µs 分辨率
- B1530A WGFMU×2 直流输出和任意波形生成,10 ns 编程分辨率、高速电压/电流测量(200 MSa/s5ns 采样率)
- GNDU
Keysight B2201A
-B2211A ×4   12ch low leakage switch module

TDDB
HCI
NBTI
Fast-NBTI
EM
Ramp
LifeTime

High Power Test

Keysight B1505A
-B1510A HPSMU 测量范围100 V / 0.1 A/,分辨率 10 fA
-B1512A HCSMU 20A/20 V(脉冲);1 A/40 V(直流)
-B1513C HVSMU 1500 V/8 mA3000 V/4 mA(脉冲和直流)
-B1520A MFCMU 频率范围 1 kHz~5 MHz,分辨率1 mHz
-GNDU
-N1265A

PowerVoltageOn
PowerCurrentOn
Measure I
Measure V
Vth/Idmax/Rdson
BV(BVCEO/BVCBO/BVGSS/BVDSS)
IdVg
IdVd
CV Sweep
Pulse Seep


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